Osnovna oprema automatizovane proizvodne linije za PR čišćenje za proizvođače LCD ekrana
PR (fotorezist) automatizirana proizvodna linija za čišćenje je osnovna oprema za mokri proces u proizvodnji LCD ekrana. Prvenstveno se koristi nakon procesa fotolitografije na podlozi niza za temeljno uklanjanje zaostalih fotorezista, ostataka jetkanja i površinskih mikro-zagađivača. To je ključna oprema za osiguranje preciznosti kola panela i poboljšanje prinosa proizvoda. Savršeno prilagođen strogom proizvodnom okruženju čiste sobe klase 100, postiže visoku -preciznost, automatizaciju i{6}}zatvorene- operacije čišćenja bez zagađenja.
Ciljajući na ostatke pozitivnog i negativnog fotootpornika nakon procesa fotolitografije, koristi više-stepeno ultrazvučno čišćenje + proces ispiranja čistom vodom kako bi se duboko uklonili ostaci, organski zagađivači, čestice prašine i druge nečistoće preostale nakon fotolitografskog jetkanja. Može temeljito ukloniti mikroskopske ostatke ispod 0,5 μm, sprječavajući defekte kao što su otvoreni krugovi panela, svijetle mrlje i mrlje Mura uzrokovane nečistoćama. U kombinaciji sa 0,1 μm visoko{6}}preciznim sistemom filtracije, sprječava sekundarnu kontaminaciju. Postiže temeljno uklanjanje-bez oštećenja, izbjegavajući utjecaj zaostalih slojeva ljepila na naknadne procese jetkanja i premaza, sa stopom pokrivenosti uklanjanja od 100%.
Ugrađeni-ESD elektrostatički kontrolni modul striktno kontrolira elektrostatičku vrijednost u opsegu manjem ili jednakom ±100V. U kombinaciji sa cavity anti-statičkim materijalom i beskontaktnom tehnologijom isporuke magnetnih kotača, izbjegava elektrostatičko pražnjenje od oštećenja preciznih kola panela, istovremeno sprječavajući ogrebotine, lomljenje i stvaranje prašine od trenja na staklenoj podlozi, čime se maksimizira zaštita integrirane podloge.
Komora za ispitivanje visoke i niske temperature konstantne temperature
Jezgro opreme automatizirane proizvodne linije za čišćenje i sušenje za proizvođače LCD ekrana integrira dvostruki način sušenja: sečenje zračnim nožem i sušenje vrućim zrakom pri konstantnoj-temperaturi. Ovo brzo uklanja mrlje od vode sa površine podloge, postižući sušenje-bez vodenih znakova i{3}}bez tragova. Nakon sušenja, sadržaj vlage na površini podloge približava se nuli, što omogućava direktan prijenos na sljedeći proces bez sekundarne obrade, osiguravajući kontinuitet procesa. PLC kontrolni sistem omogućava potpuno automatizovani rad u zatvorenoj{6}}petlji utovara, pozicioniranja, čišćenja i istovara. Podržava-nadzor u realnom vremenu i funkcije alarma za podešavanje koncentracije rastvora za čišćenje, temperature, vlažnosti i čistoće. Zapečaćena komora i dizajn sa gradijentom negativnog pritiska sprečavaju curenje hemijskog gasa. U kombinaciji sa okruženjem pozitivnog pritiska čiste sobe klase 100, on također omogućava recikliranje ultra čiste vode i klasifikaciju otpadnih tekućina i oporavak, ispunjavajući zahtjeve za{12}}uštedu energije i zaštitu okoliša.
U poređenju sa tradicionalnim ručnim čišćenjem, potpuno automatizovane proizvodne linije za PR čišćenje imaju nezamenljive prednosti: efikasnost čišćenja je povećana za više od 3 puta, a skoro 10.000 staklenih podloga se može obraditi po smeni, što značajno skraćuje procesni ciklus; konzistentnost čišćenja je odlična, temeljno uklanja mikro-ostatke manje od 0,5 μm, kontrolišući stopu defekta panela na 0,5 PPM, efikasno izbjegavajući defekte kao što su svijetle mrlje, tamne mrlje i prekidi strujnog kola na ekranu; oprema ima dizajn -uštede i energije{7}}uštede vode, sa visokom stopom povrata čiste vode i klasificiranim prikupljanjem i tretmanom otpadnih voda, ispunjavajući zahtjeve proizvodnje za zaštitu okoliša; cijela mašina je napravljena od PVC-a-otpornog na koroziju i nehrđajućeg čelika SUS304, sa jakim brtvljenjem, jednostavnim čišćenjem i održavanjem, te je pogodna za 24-kontinuirani rad u čistim prostorijama, postajući standardna oprema za proizvođače LCD ekrana za izgradnju vrhunskih linija proizvoda i povećanje konkurentnosti jezgre.
Osnovna oprema u fotolitografskoj radionici proizvođača LCD ekrana
Oprema za ekspoziciju je osnovna oprema u fotolitografskoj radionici i ključna procesna oblast u procesu proizvodnje LCD niza. Također poznat kao mašina za panelnu litografiju, to je visoko{1}}precizan optički uređaj za mokri proces. Njegova glavna funkcija je prijenos uzorka dizajna kola supstrata na staklenu podlogu obloženu fotorezistom putem optičke ekspozicije, što je ključno za formiranje mikro-kola u panelu. Precizan prijenos uzorka kola sa fotomaske na staklenu podlogu je preduvjet za naknadne procese jetkanja, premazivanja i PR čišćenja, direktno određujući kvalitet ekrana. Oprema koristi beskontaktni proces izlaganja, pogodan za velike- tanke LCD staklene podloge, izbjegavajući ogrebotine, oštećenja i kontaminaciju podloge.
Ključni tehnološki detalji uključuju visoko{0}}precizan sistem poravnanja s mikronskim-nivoom ili čak pod-mikronskim-tačnošću preklapanja, osiguravajući nultu neusklađenost u više-slojnom slaganju s greškama kontrolisanim do nekoliko hiljaditih dijelova prečnika vlasi; korištenje izvora svjetlosti ujednačene ekspozicije i tehnologije dinamičkog fokusiranja za postizanje fluktuacija energije ekspozicije od<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Cijela radionica koristi monokromatski žuti izvor svjetlosti od 589 nm, koji u potpunosti filtrira svjetlo-talasne dužine kao što je ultraljubičasto, plavo i bijelo svjetlo, sprječavajući ove zrake da prerano pokrenu fotohemijske reakcije u fotorezistu, uzrokujući fatalne defekte kao što su neusklađenost uzorka, nepotpune linije i kratki spojevi. Sistem rasvjete koristi kombinaciju namjenskih žutih LED dioda i dvoslojnih-filtara kako bi se spriječilo curenje zalutalog svjetla; vrata, prozori i prozori za posmatranje su opremljeni anti-ultraljubičastim filterskim materijalima; mobilni telefoni, kamere, jake{5}}baterije i drugi eksterni izvori svjetlosti su strogo zabranjeni u radionici, a implementirana je kontrola discipline svjetla u cijelom prostoru kako bi se eliminisao rizik od prijevremenog izlaganja fotorezista iz izvora.
Uvod u čiste sobe klase 100 za proizvođače LCD ekrana
U polju visoko{0}}precizne proizvodnje LCD-a, čiste sobe klase 100 (čiste sobe ISO klase 5) su osnovni proizvodni pogon i ključni pokazatelj tehničke snage proizvođača i prinosa proizvoda. Oni se naširoko koriste u osnovnim fazama procesa kao što su niz, montaža ćelija i pakovanje modula od strane vodećih kompanija za prikazivanje kao što su BOE, TCL CSOT, HKC i Tianma. Ove čiste sobe imaju stroge standarde čistoće, sa ne više od 100 suspendovanih čestica prašine prečnika većeg ili jednakog 0,5 μm po kubnom metru vazduha (manje ili jednako 3520 po kubnom metru). Ovaj nivo čistoće daleko nadmašuje onaj u medicinskim operacionim salama, služeći kao "tvrda barijera" za sprečavanje prašine, statičkog elektriciteta i hemijskih zagađivača da ometaju precizne procese. To je osnovna hardverska komponenta koja direktno određuje kvalitet slike ekrana, životni vijek i stopu prinosa.
Radionica je projektovana i izgrađena striktno u skladu sa međunarodnim i domaćim ISO standardima. Usvaja vertikalni jednosmjerni način strujanja zraka, zajedno sa četverostepenim ULPA sistemom filtracije (pred-filter, srednje-filter, filter visoke-efikasnosti i ultra-visoko{6}}efikasni filter), postižući efikasnost filtracije od 9% trenutnog uklanjanja do 9%, do 9%. eliminisanje mrtvih zona protoka vazduha. Istovremeno se postiže precizna kontrola okoline u svim dimenzijama: konstantna temperatura od 23±1 stepen, relativna vlažnost kontrolirana na 45%-55%, stanje pozitivnog tlaka koje se održava u čistom području i razlika tlaka veća od ili jednaka 10Pa između susjednih područja, potpuno sprječavajući infiltraciju vanjske prašine; s obzirom na podložnost displeja elektrostatičkim oštećenjima, koriste se anti-statički epoksidni samonivelirajući podovi, a za zidove i plafone se koriste čelične ploče 304 od nerđajućeg čelika i čiste sobe, uz striktnu kontrolu vrijednosti statičkog elektriciteta tokom cijelog procesa; obezbjeđena je dodatna kontrola za VOC hemijske zagađivače na molekularnom- nivou i latentne smetnje kao što su mikro-vibracije, ispunjavajući zahtjeve procesa nanorazmjera kao što su fotolitografija, taloženje tankog filma i ubrizgavanje tekućih kristala.
Radionica usvaja višeslojni dizajn zoniranja čistih prostorija, podijeljen na osnovnu zonu klase 100, tampon zonu klase 1000 i pomoćnu zonu klase 10.000, sa slojevima koji sprječavaju unakrsnu-kontaminaciju, a linije za osoblje i automatizirane transportne trake su potpuno odvojene. Osoblje mora proći trostruki proces presvlačenja, tuširanja zraka i elektrostatičke detekcije, i može ući samo nakon što nosi kompletno-odijelo za čistu sobu, rukavice-bez prašine i zaštitne naočale; materijali se prenose kroz međusobno zaključane prozore za prenos i podvrgavaju se tretmanu uklanjanja prašine i statičkog elektriciteta; unutrašnjost je opremljena FFU poklopcima za laminarni protok, online brojačima čestica, senzorima temperature i vlažnosti, monitorima diferencijalnog pritiska i ostalom opremom za postizanje 24-satnog praćenja u realnom vremenu i praćenja podataka, te će odmah izdati upozorenja i izvršiti prilagođavanja u slučaju abnormalnih indikatora kako bi se osigurala kontinuirana stabilnost okoliša.
